UTMESA+MESA+NieuwsFred Roozeboom wint Gordon E. Moore Medal

Fred Roozeboom wint Gordon E. Moore Medal

Fred Roozeboom, emeritus professor in de onderzoeksgroep Inorganic Membranes, ontving vorige week de Gordon E. Moore Medal for Outstanding Achievement in Solid State Science and Technology van de ElectroChemical Society (ECS). Bij de prijs hoort een zilveren medaille, een plaquette, een geldprijs van 7.500 dollar en een levenslang lidmaatschap voor ECS.

Roozeboom is de eerste Europeaan die de medaille ontvangt. Hij ontvangt de prijs voor zijn vele onderzoek in de micro- en nano-elektronica. Met zijn onderzoek verbeterde hij technieken om chips kleiner en kleiner te maken en op elkaar te stapelen in één compacte behuizing. Dat onderzoek begon ruim veertig jaar geleden al, nadat hij aan de UT (toen nog Technische Hogeschool Twente) promoveerde op monolagen van vanadiumoxide.

Niet-Lithografische Technologieën

In zijn ruim veertig jaar in het vak leverde Roozeboom belangrijke bijdragen aan de technieken om chips met steeds kleiner wordende details te maken, te weten Rapid Thermal Annealing, Reactive Ion Etching en Atomic Layer Processing. Met Reactive Ion Etching kun je rechte gaten etsen in een wafer. Als je al die gaatjes vult met isolatielagen en geleidende laag daartussen, krijg je in essentie 3D condensatoren met een hoog vermogen op toch een héél klein oppervlak. Als je gaten helemaal door de plak heen etst kun je verschillende (multifunctionele) componenten slim op elkaar stapelen en met elkaar doorverbinden. Zo bespaar je veel ruimte.

Met name atoomlaag depositie (ALD) en - etsen (ALE) lenen zich bij uitstek voor verdere verkleining van de details in chipfabricage zonder daarvoor steeds lithografie te moeten gebruiken. “Lithografie is weliswaar snel, maar ook duur”, vertelt Roozeboom. ALD en ALE zijn dé uitkomst gebleken bij het doorzetten van de ‘Wet van Moore’ tot sub-10 nm details door de halfgeleiderindustrie. Die heeft namelijk niet stil gezeten toen men zo’n 10 jaar moest wachten op de economische haalbaarheid van extreem ultraviolet (EUV) lithografie.

Over Fred Roozeboom

Prof. Dr. Fred Roozeboom voerde na zijn promotie eerst onderzoek uit bij ExxonMobil, en stapte vanaf 1983 over naar elektronica bij Philips Research, NXP, TNO Holst Centre en de Technische Universiteit Eindhoven. Sinds 2021 is hij weer terug in Twente. Als emeritus professor doet hij onderzoek naar de depositie van oxidische monolagen in de onderzoeksgroep Inorganic Membranes. Daarnaast werkt hij als Senior Technical Advisor bij de startup Carbyon waarin hij werkt aan technologieën om CO2 uit lucht af te vangen.

Gordon E. Moore Medal

De ECS Gordon E. Moore Medal for Outstanding Achievement in Solid State Science & Technology wordt sinds 1971 elke twee jaar uitgereikt. In 2005 werd de prijs hernoemd ter ere van oud ECS-lid en Intel-oprichter Gordon E. Moore (1929-2023). Moore is bij het algemene publiek het bekendst om zijn economische wet, ‘de Wet van Moore’. Hij stelde dat het aantal transistors in een geïntegreerde schakeling door de technologische vooruitgang ongeveer elke twee jaar verdubbelt. Een aanzet tot die wet deed hij voor het eerst op een bijeenkomst van de Electrochemical Society in 1964.