DMMP Seminar

Lisanne van der Breggen, Elise Davids, Corine Laan & Peter Vermaas — Optimalisatie van een wafertestproces

In deze presentatie wordt onderzocht hoe het testproces van een wafer geoptimaliseerd kan worden. Dit doen we in verschillende stappen. Het probleem is benaderd vanuit een theoretisch oogpunt, hierbij is naar kleine wafers gekeken. Daarnaast zijn grotere wafers in de praktijk bekeken.

Het testen van de wafer is gebonden aan verschillende voorwaarden. Voorbeelden hiervan zijn dat de touchdowns niet over de rand mogen komen en dat sommige chips slechts één keer of helemaal niet geraakt mogen worden. Deze voorwaarden gelden niet altijd en hangen af van de wafer. Naast deze voorwaarden moet ook rekening gehouden worden met de vorm van de probecard. Een probecard kan verschillende vormen aannemen: rechthoekig, diagonaal of zelfs met gaten erin.

Het doel van het onderzoek is een manier te vinden om de chips op de wafer te testen, waarbij zo min mogelijk touchdowns worden gebruikt, maar wel voldaan wordt aan alle voorwaarden. Dit probleem kan ook gezien worden als een Set-Covering probleem. Hierbij moet de verzameling van de testchips bedekt worden door een minimum aantal touchdowns. Een touchdown bedekt, afhankelijk van de grootte van de probecard, een vast aantal chips. Het Set-Covering probleem hebben wij omgeschreven naar een Integer Linear Program. Naast het zoeken naar een optimale oplossing, wordt ook aandacht besteed aan het verkorten van de rekentijd.