Deze specialisatie maakt deel uit van de masteropleiding Electrical Engineering.
Miniaturisatie maakt het mogelijk om zeer gevoelige en compacte lichtgewicht sensoren en sensorsystemen te maken. Naast hun kleine formaat, is een fascinerend aspect van deze microsensoren dat meerdere subvelden van de fysica, chemie en elektrotechniek samenkomen wanneer we dergelijke sensorsystemen willen maken en begrijpen.
Het onderzoek naar microsensoren en -systemen strekt zich uit van materialen via procesintegratie en apparaatfysica tot apparaatbetrouwbaarheid; daarom zijn we meestal te vinden in of rond het Nanolab. Voorbeelden zijn: ultra-lage-ruisversnellingsmeters voor ruisonderdrukking bij de detectie van gravitatiegolven en microvloeistofmeetsystemen voor het toedienen van medische geneesmiddelen.
Deze specialisatie is Engelstalig. De volledige opleidingsinformatie is uitsluitend in het Engels beschikbaar.