De race om steeds kleinere afmetingen op een chip, stelt zeer hoge eisen aan de productiemachines van een chipmachinefabrikant als het Nederlandse ASML. Voor de optische techniek is extreem ultraviolet licht nodig en speciale spiegels die fungeren als lenzen. De XUV Optics Group van prof. Fred Bijkerk ontwikkelt die spiegels. XUV Optics is een industrial focus group binnen het MESA+ Instituut voor Nanotechnologie van de Universiteit Twente.
Chips voor bijvoorbeeld smartphones of laptops bevatten per vierkante centimeter nu al honderden miljoenen onderdelen van miljoenste millimeters. Dit stelt zeer hoge eisen aan de productiemachines die een wereldspeler als ASML levert. De XUV Optics group is gespecialiseerd in de atomic engineering die nodig is om ultradunne laagjes voor de spiegels te maken: fundamentele natuurkunde met in het achterhoofd de industriële toepassing bij ASML en Carl Zeiss SMT en regionale hightech spelers als PANalytical, Demcon, SolMateS en TNO.
Provincie Overijssel
De XUV Optics group maakte in 2012 de overstap naar Twente, vanuit het FOM- Instituut Rijnhuizen in Nieuwegein, wat ongeveer 20 miljoen euro kostte en een 8-jarig onderzoeks-programma opleverde met talloze valorisatiekansen. Financiële bijdragen kwamen van de provincie Overijssel, de Stichting FOM, de Universiteit Twente en diverse industriële partners, waaronder Carl Zeiss SMT, ASML, PANalytical, Demcon en de Norma Group.
Persbericht: Top-nanotechnologiegroep van FOM-instituut DIFFER naar UT
Achtergrondartikel: https://www.utwente.nl/organisatie/nieuws-events/archief-magazines/ut-magazine-2012-2.pdf
VSNU Valorisatie in beeld: http://www.vsnu.nl/valorisatie-in-beeld/universiteit-twente.html
